8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)

簡要描述：Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途，友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求。

產(chǎn)品型號：Esther/Eris 系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-06-05
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1. 產(chǎn)品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途，友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求。

2. 設(shè)備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途。友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料硅，適用工藝常壓：N&P 常壓硅外延，減壓：埋層外延、選擇性外延、多晶外延，適用域科研、集成電路。